中(zhong)國環(huan)境報(bao)見(jian)習記者 丁波 記者 蔡新(xin)華 上(shang)海被賦予打造集成電(dian)路(lu)產業高地的重大(da)任(ren)務，隨著產業規模逐步擴大(da)，廢酸環(huan)境無害化處置(zhi)成為突出問題。據了解，上(shang)海通過 “點對點”資源(yuan)化定向(xiang)再利(li)用創新(xin)模式已破(po)解這(zhe)一(yi)難(nan)題。

　　日前，一輛(liang)掛有危險標(biao)識(shi)的罐裝運輸車穩穩駛入(ru)廠區，公司(si)專職管理員引(yin)導(dao)車輛(liang)，過磅、取樣(yang)、檢驗、聯單簽(qian)收……一系(xi)列流程后(hou)，車被(bei)引(yin)導(dao)至(zhi)專用(yong)卸(xie)車區，車上的特殊(shu)液體被(bei)接收到公司(si)的原料儲料罐中，等待(dai)用(yong)于(yu)后(hou)續的生產(chan)。

　　這是(shi)記者在位于金(jin)山第二工業區(qu)內的(de)上海澎(peng)博鈦白粉有(you)限公司(以下簡(jian)稱(cheng)澎(peng)博公司)看到的(de)場景。罐裝(zhuang)車內裝(zhuang)運的(de)是(shi)液體硫酸，它(ta)的(de)特殊(shu)性(xing)在于是(shi)上游集成(cheng)電路芯片生產(chan)企業使用過(guo)的(de)廢棄硫酸。

　　在現場，公司負責(ze)人何文龍告訴記者(zhe)，公司是上海市集成電路(lu)芯片行業(ye)產生(sheng)的(de)廢(fei)硫酸(suan)資源化利(li)用(yong)定點(dian)單位(wei)，每天安排(pai)專用(yong)車輛將廢(fei)酸(suan)運回工廠，經(jing)過嚴格的(de)檢驗流(liu)程(cheng)后再投(tou)入到(dao)鈦白粉生(sheng)產當(dang)中，今年1月-7月已(yi)處置利(li)用(yong)廢(fei)酸(suan)1.5萬(wan)噸。

　　新模式解決行業發展難題(ti)

　　據上(shang)海市(shi)生態環境局相關負(fu)責人介紹(shao)，上(shang)海首(shou)創的廢(fei)硫酸“點對點”資源化定(ding)(ding)向再利用(yong)模式運用(yong)逐步(bu)成熟，目前(qian)已(yi)經(jing)全部覆蓋了(le)上(shang)海具備回收廢(fei)酸條件的集(ji)成電(dian)路(lu)芯片制造(zao)企(qi)業，總體(ti)上(shang)穩定(ding)(ding)地解決(jue)了(le)上(shang)海集(ji)成電(dian)路(lu)芯片制造(zao)企(qi)業廢(fei)硫酸處置問題。

　　據上(shang)海市集成(cheng)電(dian)(dian)路行(xing)業(ye)協(xie)會相關負責人介紹，集成(cheng)電(dian)(dian)路產業(ye)生(sheng)產過程中會使用(yong)大量濃硫(liu)酸，排放以(yi)硫(liu)酸物(wu)質為(wei)主，處理廢硫(liu)酸成(cheng)本很(hen)高(gao)，同時會存在一定的生(sheng)態環境安全風(feng)險。這個(ge)問(wen)題(ti)成(cheng)為(wei)阻礙行(xing)業(ye)發展的難題(ti)。

　　直面痛點。在上(shang)海(hai)市經濟和(he)信息化(hua)委、上(shang)海(hai)市生(sheng)態(tai)環境局等相關部(bu)門(men)的支(zhi)持下(xia)，上(shang)海(hai)市固體廢(fei)物和(he)化(hua)學品管(guan)理技術中心、上(shang)海(hai)市集(ji)成(cheng)電路(lu)行(xing)業(ye)協會積極探索，多(duo)(duo)次(ci)召開(kai)專家研討會論證(zheng)處置方(fang)案(an)，并于2016年開(kai)始由中芯國際和(he)澎博公司開(kai)展廢(fei)硫(liu)酸“點對點”資源(yuan)化(hua)定向再利用試(shi)點運(yun)行(xing)，經過多(duo)(duo)輪(lun)試(shi)點驗(yan)證(zheng)，最終形成(cheng)較為(wei)成(cheng)熟的經驗(yan)。

　　去年，上(shang)海市(shi)集成電路行(xing)(xing)(xing)業協會會同多(duo)部門(men)(men)專門(men)(men)編寫形成了《鈦白粉用(yong)集成電路制造行(xing)(xing)(xing)業廢硫(liu)酸》(T/SICA001-2020)團體標準(zhun)，在上(shang)海市(shi)質(zhi)量技術(shu)監督部門(men)(men)網(wang)(wang)站和國家(jia)標準(zhun)網(wang)(wang)上(shang)進行(xing)(xing)(xing)公示，全力保(bao)障(zhang)廢酸源頭質(zhi)量的把(ba)控。

　　多維度再利用(yong)效(xiao)益(yi)明顯

　　廢(fei)硫酸“點對點”資源(yuan)(yuan)化定向再利用(yong)(yong)，這一新模式的環(huan)境效益、經濟(ji)效益和(he)社(she)會效益都很(hen)(hen)顯著。相關專家告訴記者，模式的核心(xin)是實現集成(cheng)電路制造過(guo)程(cheng)中產(chan)(chan)生(sheng)的廢(fei)硫酸替代鈦白粉生(sheng)產(chan)(chan)工藝(yi)過(guo)程(cheng)中用(yong)(yong)到的工業硫酸。經過(guo)試點驗證(zheng)，這種模式技術可行性很(hen)(hen)強，廢(fei)酸再利用(yong)(yong)單位在使(shi)用(yong)(yong)廢(fei)硫酸生(sheng)產(chan)(chan)鈦白粉時，不(bu)(bu)需要調整現有工藝(yi)。同時，替用(yong)(yong)過(guo)程(cheng)不(bu)(bu)增加額外的環(huan)境負擔(dan)與風(feng)險，不(bu)(bu)影響產(chan)(chan)品的質量，符合“固(gu)體廢(fei)物減量化、資源(yuan)(yuan)化和(he)無(wu)害化”原則。

　　談到(dao)(dao)經濟(ji)效益，這位專家給記者算(suan)了一(yi)筆賬：澎博公(gong)司再利用(yong)(yong)廢硫(liu)酸(suan)每(mei)噸(dun)收費500元，按照上海市往年廢硫(liu)酸(suan)處置(zhi)費每(mei)噸(dun)2000元計(ji)算(suan)，今年1月至(zhi)7月，澎博公(gong)司累(lei)計(ji)利用(yong)(yong)廢硫(liu)酸(suan)1.5萬(wan)噸(dun)，集成電路生(sheng)產(chan)企(qi)業(ye)可節(jie)約2250萬(wan)元。同(tong)時，澎博公(gong)司也節(jie)省了購置(zhi)工業(ye)濃硫(liu)酸(suan)的費用(yong)(yong)，產(chan)廢企(qi)業(ye)和再利用(yong)(yong)企(qi)業(ye)達到(dao)(dao)了“雙贏”。

　　此外(wai)，新模式還(huan)符合循(xun)環經濟產(chan)業(ye)需求，不(bu)僅解(jie)決(jue)了(le)廢(fei)(fei)硫(liu)酸處(chu)置(zhi)出路(lu)難、處(chu)置(zhi)費用高的(de)(de)難題，降(jiang)低了(le)企(qi)業(ye)生產(chan)成本和(he)廢(fei)(fei)硫(liu)酸處(chu)理費用，還(huan)促進了(le)鈦白粉生產(chan)單(dan)位(wei)的(de)(de)升級改(gai)造、精準轉型和(he)綠(lv)色發展(zhan)，為日(ri)后集成電路(lu)產(chan)業(ye)的(de)(de)蓬勃發展(zhan)鋪平了(le)道路(lu)。

　　深(shen)入推進“點(dian)對點(dian)”資源(yuan)化再利(li)用(yong)

　　“在(zai)探索推行(xing)這一新模式的過程中，我(wo)們以守好(hao)環境(jing)底線為(wei)(wei)前提(ti)(ti)，做到嚴格把(ba)關，按程序推進。”上(shang)海市生態環境(jing)局相關負責人介紹(shao)，在(zai)前期提(ti)(ti)出設(she)想并加以論證的基礎(chu)上(shang)，他們于2016年發文，同意將(jiang)中芯國際和澎博公(gong)司(si)設(she)立為(wei)(wei)上(shang)海市首個廢硫(liu)酸(suan)定向再利用試點(dian)單位(wei)，利用芯片廢硫(liu)酸(suan)生產鈦白(bai)粉。

　　2019年(nian)11月，上(shang)海市(shi)(shi)生態環(huan)境局(ju)同意4家企(qi)業廢硫酸(suan)定向資源(yuan)化再利(li)(li)用備(bei)案(an)。2020年(nian)10月，上(shang)海市(shi)(shi)生態環(huan)境局(ju)擴大廢硫酸(suan)定向資源(yuan)化再利(li)(li)用備(bei)案(an)，新(xin)增4家企(qi)業，全面覆蓋上(shang)海市(shi)(shi)具(ju)備(bei)回收(shou)廢酸(suan)條件的(de)集(ji)成(cheng)電路制造企(qi)業。

　　據(ju)介紹，目前(qian)，各方進(jin)展順利，各試點企業在嚴格(ge)執行(xing)(xing)危險廢(fei)(fei)物(wu)(wu)各項(xiang)管理制(zhi)度(du)下，廢(fei)(fei)硫酸(suan)源頭品質(zhi)得到保障，并委托(tuo)具有相關運輸資質(zhi)的單位專人(ren)專車進(jin)行(xing)(xing)運輸。澎博公(gong)司(si)在廢(fei)(fei)酸(suan)使用(yong)(yong)期間(jian)，生產運行(xing)(xing)穩定，各項(xiang)污染(ran)物(wu)(wu)排放(fang)環保指標(biao)檢測(ce)均符合排放(fang)標(biao)準。同時，澎博公(gong)司(si)對生產設備工(gong)藝進(jin)行(xing)(xing)優化改(gai)造，在末(mo)端形成了可滿(man)足近期集成電路產業發(fa)展需(xu)求的每年(nian)6萬噸廢(fei)(fei)硫酸(suan)利用(yong)(yong)能力(li)。

　　“十四五”期間(jian)，上(shang)海(hai)(hai)的(de)集(ji)成電路產(chan)量將(jiang)快速增長(chang)，需處(chu)置的(de)廢硫酸(suan)量也(ye)將(jiang)隨之增加。據最新統(tong)計(ji)，2020年(nian)產(chan)生廢酸(suan)1.25萬噸(dun)，2021年(nian)預計(ji)為2.8萬噸(dun)，到(dao)2022年(nian)上(shang)海(hai)(hai)芯(xin)片企業產(chan)生的(de)廢硫酸(suan)將(jiang)高達(da)(da)6萬噸(dun)，2025年(nian)將(jiang)達(da)(da)到(dao)10萬噸(dun)以上(shang)。

　　面對這一形勢，上海各相關部門召開會議制定(ding)了“提前謀劃改造，形成(cheng)需求匹配、長久(jiu)穩定(ding)”的廢硫酸利(li)用原則。上海市發改委、上海市經濟和(he)(he)(he)信(xin)息化(hua)委還專(zhuan)門組織專(zhuan)家隊伍(wu)到(dao)資源化(hua)綜合利(li)用企(qi)(qi)業澎博公司開展現場調研，了解情(qing)況(kuang)，聽取企(qi)(qi)業和(he)(he)(he)行業專(zhuan)家的意見(jian)和(he)(he)(he)建議。

　　作為廢(fei)(fei)酸(suan)(suan)再利(li)用定(ding)點(dian)企業，澎博(bo)公司(si)也啟動了匹配廢(fei)(fei)酸(suan)(suan)資源化利(li)用技改(gai)規劃，積極響應上級部門對澎博(bo)公司(si)以(yi)廢(fei)(fei)定(ding)產(chan)、提(ti)前謀劃的要求，規劃“集成電路行業10萬噸廢(fei)(fei)酸(suan)(suan)資源化利(li)用”技改(gai)。

　　在上(shang)海市(shi)人民政府近日(ri)印發的《上(shang)海市(shi)2021-2023年生態(tai)環境保(bao)護(hu)和(he)建設三年行(xing)(xing)動(dong)》文(wen)件(jian)上(shang)，記者也注意(yi)到相關條文(wen)：在環境可控(kong)的前提下，持續(xu)推(tui)動(dong)集成電路行(xing)(xing)業(ye)廢(fei)酸(suan)等危險廢(fei)物“點對點”定向資源化(hua)利用(yong)工(gong)作，形成穩定的與集成電路行(xing)(xing)業(ye)未(wei)來發展相適應的廢(fei)酸(suan)處(chu)置利用(yong)能(neng)力。

　　據悉，未(wei)來(lai)，這種廢(fei)棄硫酸“點對(dui)點”資源化定向再(zai)利(li)用模式，將(jiang)有力保障我國集成電路(lu)行業的(de)發(fa)展(zhan)，也將(jiang)對(dui)其他行業的(de)危險廢(fei)物綜(zong)合(he)利(li)用起到借(jie)鑒(jian)和引領作用。

來(lai)源：中國環(huan)境報(bao)